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工程设计学报
工程设计学报  2003, Vol. 10 Issue (1): 15-19    
工程设计理论、方法与技术     
超精密装置PID振动控制系统的仿真研究
 陈亚良, 傅龙珠, 梅德庆, 陈子辰
浙江大学现代制造工程研究所，浙江杭州31002
Design of PID vibration control system
for ultra-precision device
 CHEN  Ya-Liang, FU  Long-Zhu, MEI  De-Qing, CHEN  Zi-Chen
Institute of Modern Manufacture Engineering，Zhejiang University，Hangzhou 310027，China
 全文: PDF(187 KB)   HTML
摘要： 在仿生啄木鸟头部独特生物构造和隔振机理的基础上，采用主动隔振技术建立了超精密装置隔振系统结构及动力学模型． 结合超精密装置隔振系统的结构特点和性能要求，采用闭环PID主动控制系统，用Matlab软件进行了仿真分析．仿真分析结果表明，该振动控制系统宽频率范围内具有良好的减振效果，该系统可应用于超精密\测量、超精密制造设备的隔振领域．
关键词： 超精密装置;  仿生学;  主动振动控制;  PID控制    
Abstract: To keep the ultra-precision device from the micro-disturbance of environment，a structure and kinetic model of a vibration control system were established with a passive air-springwhich reduces vibrations of high-frequency area and a giant magnetostrictive actuator which reduces those of low-frequency area，which is imitative of the isolation mechanics and special organic texture of woodpecker’s brain．In consideration of complex vibration environment and nonlinear ultra-precision device，a closed loop PID active control system was adopted．The system was simulated by Matlab．Results of simulations show that the control system can effectively restrainthe disturbances whose frequency range form 0-100 Hz．It can be applied to the vibration isolation field of the ultra-precision measuring and manufacturing device．
Key words: ultra-precision device    bionics    active vibration control    PID control
出版日期: 2003-02-28
基金资助:

国家自然科学基金资助项目(50075078)
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陈亚良
傅龙珠
梅德庆
陈子辰

引用本文:

陈亚良, 傅龙珠, 梅德庆, 陈子辰. 超精密装置PID振动控制系统的仿真研究[J]. 工程设计学报, 2003, 10(1): 15-19.

CHEN Ya-Liang, FU Long-Zhu, MEI De-Qing, CHEN Zi-Chen. Design of PID vibration control system
for ultra-precision device[J]. Chinese Journal of Engineering Design, 2003, 10(1): 15-19.

链接本文:

https://www.zjujournals.com/gcsjxb/CN/    或    https://www.zjujournals.com/gcsjxb/CN/Y2003/V10/I1/15

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