研究了纳米级多孔氧化铝为敏感膜的湿度传感器的制备、性能和感湿机理.用阳极氧化法制得纳米多孔氧化铝,用LCR测量仪研究了该传感器的电容和阻抗随湿度变化的特性,结果发现其电容特性和阻抗特性在33%～97%相对湿度(RH)范围内线性度很好.并用等效电路模型对传感器的复阻抗特性进行了分析,讨论了传感器的感湿机理.结果表明,在低湿下该传感器等效于一个R、C并联电路,以电子导电为主;在高湿下等效于两个R、C并联电路的串联,以离子导电为主.
国家杰出青年科学基金资助项目(60225010).
张会锐 张辉 杨青 张年生 杨德仁. 室温下纳米多孔氧化铝湿度传感器的研究[J]. J4, 2004, 38(4): 420-424.
ZHANG Hui-Dui, ZHANG Hui, YANG Jing, ZHANG Nian-Sheng, YANG De-Ren. . J4, 2004, 38(4): 420-424.
http://www.zjujournals.com/xueshu/eng/CN/ 或 http://www.zjujournals.com/xueshu/eng/CN/Y2004/V38/I4/420
Cited
