为了实现数字化电控调节光衰减量，提出一种电磁线圈驱动的微光机电系统(MOEMS)可调光衰减器，该衰减器主 要通过电磁力步进驱动微加工齿轮/齿条机构，带动偏心轮，从而移动挡光片调节光衰减量，实现单模光纤中光传输功率 的数字化电控调节.器件采用非硅基底MOEMS技术制作，并具有断电自锁功能.主要对该器件的损耗，光功率衰减量作了理 论计算，并进行器件性能测试，测得主要技术指标原始插入损耗< 0.3 dB，波长相关损耗< 0.2 dB，衰减范围0～40 dB ，回波损耗> 50 dB.