用一种简单的方法制得MgO的前驱溶液并用溶胶凝胶法在Si（100）和Si（111）衬底上制备出（111）择优取向的MgO薄膜.使用X射线衍射曲线、摇摆曲线、原子力显微镜图来研究薄膜的微结构与基板取向、退火温度、薄膜厚度之间的关系.结果表明，在退火温度高于500℃时结晶，Si衬底的取向对MgO薄膜的取向没有显著影响.同时，退火温度的升高和薄膜厚度的增加都能使MgO（111）的择优取向性越来越好;Si的易氧化是导致镁醇盐经过高温分解结晶形成MgO（111）择优取向的主要原因.
国家自然科学基金资助项目（60478039）;浙江省自然科学基金资助项目（500077）.
曹晓燕 叶辉. 溶胶凝胶生长(111)择优取向的MgO薄膜[J]. J4, 2005, 39(4): 461-464.
CAO Xiao-Yan, XIE Hui. . J4, 2005, 39(4): 461-464.
http://www.zjujournals.com/xueshu/eng/CN/ 或 http://www.zjujournals.com/xueshu/eng/CN/Y2005/V39/I4/461
Cited
