为适应直接光刻法高效制作不同线宽的需要,提出了一种基于二象限探测器的新的调焦方案用于极坐标激光直接写入设备,这种调焦方案适于在离焦状态下制作不同线宽线条.针对转台和直线平移台两种主要离焦源的不同特点,采用快速精动机构和慢速粗动机构进行补偿.二象限光电探测器、压电型微位移执行器和高压运算放大器等分别构成调焦系统的输入、输出和驱动部分.该激光直写设备在离焦模式下制作了均匀的3.0 μm线宽的螺旋线,表明了离焦直写在制作可变线宽上的可行性.
梁宜勇 杨国光 孙戎. 激光直写调焦系统特性及离焦应用研究[J]. J4, 2005, 39(2): 269-272.
LIANG Yi-Yong, YANG Guo-Guang, SUN Reng. . J4, 2005, 39(2): 269-272.
http://www.zjujournals.com/xueshu/eng/CN/ 或 http://www.zjujournals.com/xueshu/eng/CN/Y2005/V39/I2/269
Cited
