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浙江大学学报(工学版)
J4  2006, Vol. 40 Issue (9): 1591-1594    
论文     
镀膜玻璃衬底表面结构的分子动力学模拟
刘涌，宋晨路，韩高荣（浙江大学 材料科学与工程学系， 硅材料国家重点实验室，浙江 杭州 310027）
 全文: PDF 
摘要：

为考察硅酸盐玻璃衬底的表面结构以及温度对玻璃衬底表面结构的影响，模拟研究了500～1 000 K温度范围内及Al质量分数为0.5%～1.5%的玻璃衬底结构.采用Born-Mayer势函数,使用分子动力学方法，模拟了玻璃体相结构向表面结构转化的结构驰豫过程.结果表明，结构驰豫使系统能量下降，原子向表面一侧扩散.在500～1 000 K温度范围内，玻璃成份中Na原子的驰豫最为明显，Ca原子次之，Si、O原子最小，玻璃衬底表面的Na原子的质量分数高于体相.随着玻璃成份中Al质量分数的减小，玻璃衬底表面层的能量增加，活性增强，有利于沉积原子的吸附.
关键词： 分子动力学;  玻璃;  表面结构;  薄膜生长    
出版日期: 2006-09-20
基金资助:

国家“863”高技术研究发展计划资助项目(2004AA32G040).
通讯作者: 韩高荣，男，教授. E-mail: hgr@zju.edu.cn   
作者简介: 刘 涌(1979-)，男，河北张家口人，博士生，从事镀膜玻璃模型研究
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刘涌
宋晨路
韩高荣

引用本文:

刘涌 宋晨路 韩高荣. 镀膜玻璃衬底表面结构的分子动力学模拟[J]. J4, 2006, 40(9): 1591-1594.

LIU Chong, SONG Chen-Lu, HAN Gao-Rong. . J4, 2006, 40(9): 1591-1594.

链接本文:

http://www.zjujournals.com/xueshu/eng/CN/    或    http://www.zjujournals.com/xueshu/eng/CN/Y2006/V40/I9/1591

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