为了有效避免体波和边缘多次回波寄生效应，提出了一种Y型带倾斜反射器的双声路质量传感器.在输出叉指换能器（IDT）和芯片边缘之间加入反射器，有效抑制了由于芯片端面声阻抗不连续造成的声表面波端面反射，并提高了器件的灵敏度.在128°Y-X 方向LiNbO3衬底上制作了质量传感器，通过非振荡匹配电路和网络分析仪测试了器件的性能.数据处理采用时频傅立叶变换，加门函数消除附加信号.测试结果表明，反射器对边缘多次反射信号的抑制为2～6 dB.器件温度补偿效果显著，质量沉积效应灵敏度可达5.61 GHz·cm2/g，线性度良好.
国家自然科学基金资助项目（60176027）
杨莺 朱大中. Y型带反射器的声表面波质量传感器[J]. J4, 2006, 40(2): 207-210.
YANG Ying, SHU Da-Zhong. . J4, 2006, 40(2): 207-210.
http://www.zjujournals.com/xueshu/eng/CN/ 或 http://www.zjujournals.com/xueshu/eng/CN/Y2006/V40/I2/207
Cited
