微操纵,微构件,超声辐射力,活塞换能器," /> 微操纵,微构件,超声辐射力,活塞换能器,"/> 基于相位调整的三维超声微操纵技术
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浙江大学学报(工学版)
J4  2008, Vol. 42 Issue (11): 1940-1945    
论文     
基于相位调整的三维超声微操纵技术
浙江大学 现代制造工程研究所，浙江省先进制造技术重点实验室， 浙江 杭州 310027
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摘要：

为了将超声辐射力应用到微机电系统领域，以达到对微构件进行无损、非接触遥操纵的目的，开展了三维超声辐射力场合成的理论与实验研究，提出了基于相位调整的三维超声微操纵技术.在研究单个圆形平面活塞换能器声场分布以及声场和辐射力关系的基础上，将以相同频率驱动的4个平面活塞换能器呈正四面体放置，利用声波合成原理获得三维超声驻波场，通过调整各个换能器发射信号相位之间的关系实现对微构件在空间范围内的俘获、移动、释放等操纵.实验结果表明，该技术能够有效地实现对微构件的三维操纵，具有响应速度快、定位精度高、易于控制、操纵范围广等优点
关键词： 微操纵')" href="#">微操纵;  微构件;  超声辐射力;  活塞换能器    
基金资助:

国家“863”高技术研究发展计划资助项目（2006AA04Z329）；国家自然科学基金资助项目（50375144,50775203）.
通讯作者: 梅德庆，男，副教授.E-mail: medqmei@zju.edu.cn   
作者简介: 梅德庆（1973-），男，浙江台州人，副教授，从事微制造技术研究.E-mail: medqmei@zju.edu.cn
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梅德庆
杨克己
丁伟森

引用本文:

梅德庆 杨克己 丁伟森. 基于相位调整的三维超声微操纵技术[J]. J4, 2008, 42(11): 1940-1945.

MEI De-Qiang, YANG Ke-Ji, DING Wei-Sen. . J4, 2008, 42(11): 1940-1945.

链接本文:

http://www.zjujournals.com/xueshu/eng/CN/    或    http://www.zjujournals.com/xueshu/eng/CN/Y2008/V42/I11/1940

[1] 杨克己 田少华. 基于机器微视觉的超声辐射力测量技术[J]. J4, 2008, 42(2): 197-202.