为了获得更好的压印质量，对聚合物微热压印成品缺陷产生的原因进行了研究.采用有限元法(FEM)模拟冷却阶段和脱模阶段产生的缺陷，分析结果显示，由于聚合物和模具间不同的热膨胀系数，在冷却阶段极易产生很大的热应力集中，而一直保持压印力将会加剧应力集中效应，导致微结构在底部出现断裂.在脱模阶段由于模具和聚合物表面黏附作用的影响，高深宽比结构脱模时容易产生断裂、颈缩现象.手动脱模时容易造成微结构产生倾斜，而常规的脱模装置会造成微结构产生翘曲变形，影响成品质量。根据分析结果设计了气动自动脱模装置，并对压印工艺进行了优化，在随后的实验中成功制得了高质量的高深宽比微结构.
国家“863”高技术研究发展计划资助项目（2002AA421150）；国家教育部博士点基金资助项目（20030335091）.
贺永 傅建中 徐月同 陈子辰. 微热压印成型过程缺陷研究[J]. J4, 2009, 43(1): 83-86.
HE Yong, FU Jian-Zhong, XU Ru-Tong, CHEN Zi-Chen. . J4, 2009, 43(1): 83-86.
http://www.zjujournals.com/xueshu/eng/CN/ 或 http://www.zjujournals.com/xueshu/eng/CN/Y2009/V43/I1/83
Cited
