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微型无人直升机姿态测量系统设计与实现
1
2009
... 再平衡回路是许多高精度惯性传感器的重要组成部分，与惯性元件共同构成一个闭环回路，实现惯性输入量的测量. 采用再平衡回路的高精度惯性传感器被广泛应用于航天、航空及航海系统的导航制导与控制中[1 -3 ] ，其典型代表有动力调谐陀螺[4 ] 、硅微加速度计[5 -6 ] 以及石英挠性加速度计[7 -8 ] 等. 再平衡回路噪声会直接影响惯性传感器的精度，进而影响导航制导的精度，因此，研究再平衡回路噪声对提升导航制导精度具有十分重要的意义. ...
微型无人直升机姿态测量系统设计与实现
1
2009
... 再平衡回路是许多高精度惯性传感器的重要组成部分，与惯性元件共同构成一个闭环回路，实现惯性输入量的测量. 采用再平衡回路的高精度惯性传感器被广泛应用于航天、航空及航海系统的导航制导与控制中[1 -3 ] ，其典型代表有动力调谐陀螺[4 ] 、硅微加速度计[5 -6 ] 以及石英挠性加速度计[7 -8 ] 等. 再平衡回路噪声会直接影响惯性传感器的精度，进而影响导航制导的精度，因此，研究再平衡回路噪声对提升导航制导精度具有十分重要的意义. ...
基于T分布变分贝叶斯滤波的SINS/GPS组合导航
0
2018
基于T分布变分贝叶斯滤波的SINS/GPS组合导航
0
2018
基于惯导和无时延滤波器的舰船升沉测量
1
2016
... 再平衡回路是许多高精度惯性传感器的重要组成部分，与惯性元件共同构成一个闭环回路，实现惯性输入量的测量. 采用再平衡回路的高精度惯性传感器被广泛应用于航天、航空及航海系统的导航制导与控制中[1 -3 ] ，其典型代表有动力调谐陀螺[4 ] 、硅微加速度计[5 -6 ] 以及石英挠性加速度计[7 -8 ] 等. 再平衡回路噪声会直接影响惯性传感器的精度，进而影响导航制导的精度，因此，研究再平衡回路噪声对提升导航制导精度具有十分重要的意义. ...
基于惯导和无时延滤波器的舰船升沉测量
1
2016
... 再平衡回路是许多高精度惯性传感器的重要组成部分，与惯性元件共同构成一个闭环回路，实现惯性输入量的测量. 采用再平衡回路的高精度惯性传感器被广泛应用于航天、航空及航海系统的导航制导与控制中[1 -3 ] ，其典型代表有动力调谐陀螺[4 ] 、硅微加速度计[5 -6 ] 以及石英挠性加速度计[7 -8 ] 等. 再平衡回路噪声会直接影响惯性传感器的精度，进而影响导航制导的精度，因此，研究再平衡回路噪声对提升导航制导精度具有十分重要的意义. ...
动力调谐陀螺再平衡回路技术的发展与研究现状
1
2008
... 再平衡回路是许多高精度惯性传感器的重要组成部分，与惯性元件共同构成一个闭环回路，实现惯性输入量的测量. 采用再平衡回路的高精度惯性传感器被广泛应用于航天、航空及航海系统的导航制导与控制中[1 -3 ] ，其典型代表有动力调谐陀螺[4 ] 、硅微加速度计[5 -6 ] 以及石英挠性加速度计[7 -8 ] 等. 再平衡回路噪声会直接影响惯性传感器的精度，进而影响导航制导的精度，因此，研究再平衡回路噪声对提升导航制导精度具有十分重要的意义. ...
动力调谐陀螺再平衡回路技术的发展与研究现状
1
2008
... 再平衡回路是许多高精度惯性传感器的重要组成部分，与惯性元件共同构成一个闭环回路，实现惯性输入量的测量. 采用再平衡回路的高精度惯性传感器被广泛应用于航天、航空及航海系统的导航制导与控制中[1 -3 ] ，其典型代表有动力调谐陀螺[4 ] 、硅微加速度计[5 -6 ] 以及石英挠性加速度计[7 -8 ] 等. 再平衡回路噪声会直接影响惯性传感器的精度，进而影响导航制导的精度，因此，研究再平衡回路噪声对提升导航制导精度具有十分重要的意义. ...
数字式MEMS加速度计噪声分析和参数优化
1
2009
... 再平衡回路是许多高精度惯性传感器的重要组成部分，与惯性元件共同构成一个闭环回路，实现惯性输入量的测量. 采用再平衡回路的高精度惯性传感器被广泛应用于航天、航空及航海系统的导航制导与控制中[1 -3 ] ，其典型代表有动力调谐陀螺[4 ] 、硅微加速度计[5 -6 ] 以及石英挠性加速度计[7 -8 ] 等. 再平衡回路噪声会直接影响惯性传感器的精度，进而影响导航制导的精度，因此，研究再平衡回路噪声对提升导航制导精度具有十分重要的意义. ...
数字式MEMS加速度计噪声分析和参数优化
1
2009
... 再平衡回路是许多高精度惯性传感器的重要组成部分，与惯性元件共同构成一个闭环回路，实现惯性输入量的测量. 采用再平衡回路的高精度惯性传感器被广泛应用于航天、航空及航海系统的导航制导与控制中[1 -3 ] ，其典型代表有动力调谐陀螺[4 ] 、硅微加速度计[5 -6 ] 以及石英挠性加速度计[7 -8 ] 等. 再平衡回路噪声会直接影响惯性传感器的精度，进而影响导航制导的精度，因此，研究再平衡回路噪声对提升导航制导精度具有十分重要的意义. ...
基于无线惯性传感器的人体动作捕获方法
1
2012
... 再平衡回路是许多高精度惯性传感器的重要组成部分，与惯性元件共同构成一个闭环回路，实现惯性输入量的测量. 采用再平衡回路的高精度惯性传感器被广泛应用于航天、航空及航海系统的导航制导与控制中[1 -3 ] ，其典型代表有动力调谐陀螺[4 ] 、硅微加速度计[5 -6 ] 以及石英挠性加速度计[7 -8 ] 等. 再平衡回路噪声会直接影响惯性传感器的精度，进而影响导航制导的精度，因此，研究再平衡回路噪声对提升导航制导精度具有十分重要的意义. ...
基于无线惯性传感器的人体动作捕获方法
1
2012
... 再平衡回路是许多高精度惯性传感器的重要组成部分，与惯性元件共同构成一个闭环回路，实现惯性输入量的测量. 采用再平衡回路的高精度惯性传感器被广泛应用于航天、航空及航海系统的导航制导与控制中[1 -3 ] ，其典型代表有动力调谐陀螺[4 ] 、硅微加速度计[5 -6 ] 以及石英挠性加速度计[7 -8 ] 等. 再平衡回路噪声会直接影响惯性传感器的精度，进而影响导航制导的精度，因此，研究再平衡回路噪声对提升导航制导精度具有十分重要的意义. ...
1
... 再平衡回路是许多高精度惯性传感器的重要组成部分，与惯性元件共同构成一个闭环回路，实现惯性输入量的测量. 采用再平衡回路的高精度惯性传感器被广泛应用于航天、航空及航海系统的导航制导与控制中[1 -3 ] ，其典型代表有动力调谐陀螺[4 ] 、硅微加速度计[5 -6 ] 以及石英挠性加速度计[7 -8 ] 等. 再平衡回路噪声会直接影响惯性传感器的精度，进而影响导航制导的精度，因此，研究再平衡回路噪声对提升导航制导精度具有十分重要的意义. ...
1
... 再平衡回路是许多高精度惯性传感器的重要组成部分，与惯性元件共同构成一个闭环回路，实现惯性输入量的测量. 采用再平衡回路的高精度惯性传感器被广泛应用于航天、航空及航海系统的导航制导与控制中[1 -3 ] ，其典型代表有动力调谐陀螺[4 ] 、硅微加速度计[5 -6 ] 以及石英挠性加速度计[7 -8 ] 等. 再平衡回路噪声会直接影响惯性传感器的精度，进而影响导航制导的精度，因此，研究再平衡回路噪声对提升导航制导精度具有十分重要的意义. ...
石英挠性加速度计摆片组件的应力分析
1
2010
... 再平衡回路是许多高精度惯性传感器的重要组成部分，与惯性元件共同构成一个闭环回路，实现惯性输入量的测量. 采用再平衡回路的高精度惯性传感器被广泛应用于航天、航空及航海系统的导航制导与控制中[1 -3 ] ，其典型代表有动力调谐陀螺[4 ] 、硅微加速度计[5 -6 ] 以及石英挠性加速度计[7 -8 ] 等. 再平衡回路噪声会直接影响惯性传感器的精度，进而影响导航制导的精度，因此，研究再平衡回路噪声对提升导航制导精度具有十分重要的意义. ...
石英挠性加速度计摆片组件的应力分析
1
2010
... 再平衡回路是许多高精度惯性传感器的重要组成部分，与惯性元件共同构成一个闭环回路，实现惯性输入量的测量. 采用再平衡回路的高精度惯性传感器被广泛应用于航天、航空及航海系统的导航制导与控制中[1 -3 ] ，其典型代表有动力调谐陀螺[4 ] 、硅微加速度计[5 -6 ] 以及石英挠性加速度计[7 -8 ] 等. 再平衡回路噪声会直接影响惯性传感器的精度，进而影响导航制导的精度，因此，研究再平衡回路噪声对提升导航制导精度具有十分重要的意义. ...
The Dead time characterization method of quartz flexure accelerometers using monotonicity number
1
2019
... 再平衡回路噪声主要包括检测噪声和驱动噪声. 检测噪声、驱动噪声和惯性元件中的机械热噪声是惯性传感器3个主要的噪声来源[9 ] . 研究表明，机械热噪声产生的影响远小于检测噪声和驱动噪声[10 ] ，因此可以忽略. 检测噪声是再平衡回路对惯性元件位置进行检测时引入的噪声，检测方式主要有差分电容检测[11 ] 、激光干涉检测[12 ] 以及隧道电流检测[13 ] 等. 其中，差分电容检测方式最为成熟且具有较高精度. Tian等[14 ] 使用差分电容检测方式，使检测噪声在0.1 Hz以上频段小于2×10−6 pF/Hz1/2 . 驱动噪声是再平衡回路反馈控制惯性元件位置时引入的噪声，驱动方式主要有力矩线圈驱动[15 ] 和静电驱动[16 ] . 力矩线圈驱动方式比静电驱动方式量程更大，使用更为广泛. 赵静[17 ] 基于OPA548功放芯片设计了力矩线圈驱动电路. 在0~100 Hz带宽内，电路等效输出噪声标准差为5.9 μV. 可以发现，上述研究都致力于减小检测噪声和驱动噪声水平，从而提升惯性传感器精度，然而，现有工艺水平下大幅度改善噪声水平是十分困难的[18 ] . ...
石英挠性加速度计表头力矩器噪声模型研究
1
2018
... 再平衡回路噪声主要包括检测噪声和驱动噪声. 检测噪声、驱动噪声和惯性元件中的机械热噪声是惯性传感器3个主要的噪声来源[9 ] . 研究表明，机械热噪声产生的影响远小于检测噪声和驱动噪声[10 ] ，因此可以忽略. 检测噪声是再平衡回路对惯性元件位置进行检测时引入的噪声，检测方式主要有差分电容检测[11 ] 、激光干涉检测[12 ] 以及隧道电流检测[13 ] 等. 其中，差分电容检测方式最为成熟且具有较高精度. Tian等[14 ] 使用差分电容检测方式，使检测噪声在0.1 Hz以上频段小于2×10−6 pF/Hz1/2 . 驱动噪声是再平衡回路反馈控制惯性元件位置时引入的噪声，驱动方式主要有力矩线圈驱动[15 ] 和静电驱动[16 ] . 力矩线圈驱动方式比静电驱动方式量程更大，使用更为广泛. 赵静[17 ] 基于OPA548功放芯片设计了力矩线圈驱动电路. 在0~100 Hz带宽内，电路等效输出噪声标准差为5.9 μV. 可以发现，上述研究都致力于减小检测噪声和驱动噪声水平，从而提升惯性传感器精度，然而，现有工艺水平下大幅度改善噪声水平是十分困难的[18 ] . ...
石英挠性加速度计表头力矩器噪声模型研究
1
2018
... 再平衡回路噪声主要包括检测噪声和驱动噪声. 检测噪声、驱动噪声和惯性元件中的机械热噪声是惯性传感器3个主要的噪声来源[9 ] . 研究表明，机械热噪声产生的影响远小于检测噪声和驱动噪声[10 ] ，因此可以忽略. 检测噪声是再平衡回路对惯性元件位置进行检测时引入的噪声，检测方式主要有差分电容检测[11 ] 、激光干涉检测[12 ] 以及隧道电流检测[13 ] 等. 其中，差分电容检测方式最为成熟且具有较高精度. Tian等[14 ] 使用差分电容检测方式，使检测噪声在0.1 Hz以上频段小于2×10−6 pF/Hz1/2 . 驱动噪声是再平衡回路反馈控制惯性元件位置时引入的噪声，驱动方式主要有力矩线圈驱动[15 ] 和静电驱动[16 ] . 力矩线圈驱动方式比静电驱动方式量程更大，使用更为广泛. 赵静[17 ] 基于OPA548功放芯片设计了力矩线圈驱动电路. 在0~100 Hz带宽内，电路等效输出噪声标准差为5.9 μV. 可以发现，上述研究都致力于减小检测噪声和驱动噪声水平，从而提升惯性传感器精度，然而，现有工艺水平下大幅度改善噪声水平是十分困难的[18 ] . ...
石英挠性摆式加速度计闭环检测电路设计
1
2012
... 再平衡回路噪声主要包括检测噪声和驱动噪声. 检测噪声、驱动噪声和惯性元件中的机械热噪声是惯性传感器3个主要的噪声来源[9 ] . 研究表明，机械热噪声产生的影响远小于检测噪声和驱动噪声[10 ] ，因此可以忽略. 检测噪声是再平衡回路对惯性元件位置进行检测时引入的噪声，检测方式主要有差分电容检测[11 ] 、激光干涉检测[12 ] 以及隧道电流检测[13 ] 等. 其中，差分电容检测方式最为成熟且具有较高精度. Tian等[14 ] 使用差分电容检测方式，使检测噪声在0.1 Hz以上频段小于2×10−6 pF/Hz1/2 . 驱动噪声是再平衡回路反馈控制惯性元件位置时引入的噪声，驱动方式主要有力矩线圈驱动[15 ] 和静电驱动[16 ] . 力矩线圈驱动方式比静电驱动方式量程更大，使用更为广泛. 赵静[17 ] 基于OPA548功放芯片设计了力矩线圈驱动电路. 在0~100 Hz带宽内，电路等效输出噪声标准差为5.9 μV. 可以发现，上述研究都致力于减小检测噪声和驱动噪声水平，从而提升惯性传感器精度，然而，现有工艺水平下大幅度改善噪声水平是十分困难的[18 ] . ...
石英挠性摆式加速度计闭环检测电路设计
1
2012
... 再平衡回路噪声主要包括检测噪声和驱动噪声. 检测噪声、驱动噪声和惯性元件中的机械热噪声是惯性传感器3个主要的噪声来源[9 ] . 研究表明，机械热噪声产生的影响远小于检测噪声和驱动噪声[10 ] ，因此可以忽略. 检测噪声是再平衡回路对惯性元件位置进行检测时引入的噪声，检测方式主要有差分电容检测[11 ] 、激光干涉检测[12 ] 以及隧道电流检测[13 ] 等. 其中，差分电容检测方式最为成熟且具有较高精度. Tian等[14 ] 使用差分电容检测方式，使检测噪声在0.1 Hz以上频段小于2×10−6 pF/Hz1/2 . 驱动噪声是再平衡回路反馈控制惯性元件位置时引入的噪声，驱动方式主要有力矩线圈驱动[15 ] 和静电驱动[16 ] . 力矩线圈驱动方式比静电驱动方式量程更大，使用更为广泛. 赵静[17 ] 基于OPA548功放芯片设计了力矩线圈驱动电路. 在0~100 Hz带宽内，电路等效输出噪声标准差为5.9 μV. 可以发现，上述研究都致力于减小检测噪声和驱动噪声水平，从而提升惯性传感器精度，然而，现有工艺水平下大幅度改善噪声水平是十分困难的[18 ] . ...
High resolution quartz flexure accelerometer based on laser self-mixing interferometry
1
2015
... 再平衡回路噪声主要包括检测噪声和驱动噪声. 检测噪声、驱动噪声和惯性元件中的机械热噪声是惯性传感器3个主要的噪声来源[9 ] . 研究表明，机械热噪声产生的影响远小于检测噪声和驱动噪声[10 ] ，因此可以忽略. 检测噪声是再平衡回路对惯性元件位置进行检测时引入的噪声，检测方式主要有差分电容检测[11 ] 、激光干涉检测[12 ] 以及隧道电流检测[13 ] 等. 其中，差分电容检测方式最为成熟且具有较高精度. Tian等[14 ] 使用差分电容检测方式，使检测噪声在0.1 Hz以上频段小于2×10−6 pF/Hz1/2 . 驱动噪声是再平衡回路反馈控制惯性元件位置时引入的噪声，驱动方式主要有力矩线圈驱动[15 ] 和静电驱动[16 ] . 力矩线圈驱动方式比静电驱动方式量程更大，使用更为广泛. 赵静[17 ] 基于OPA548功放芯片设计了力矩线圈驱动电路. 在0~100 Hz带宽内，电路等效输出噪声标准差为5.9 μV. 可以发现，上述研究都致力于减小检测噪声和驱动噪声水平，从而提升惯性传感器精度，然而，现有工艺水平下大幅度改善噪声水平是十分困难的[18 ] . ...
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... 再平衡回路噪声主要包括检测噪声和驱动噪声. 检测噪声、驱动噪声和惯性元件中的机械热噪声是惯性传感器3个主要的噪声来源[9 ] . 研究表明，机械热噪声产生的影响远小于检测噪声和驱动噪声[10 ] ，因此可以忽略. 检测噪声是再平衡回路对惯性元件位置进行检测时引入的噪声，检测方式主要有差分电容检测[11 ] 、激光干涉检测[12 ] 以及隧道电流检测[13 ] 等. 其中，差分电容检测方式最为成熟且具有较高精度. Tian等[14 ] 使用差分电容检测方式，使检测噪声在0.1 Hz以上频段小于2×10−6 pF/Hz1/2 . 驱动噪声是再平衡回路反馈控制惯性元件位置时引入的噪声，驱动方式主要有力矩线圈驱动[15 ] 和静电驱动[16 ] . 力矩线圈驱动方式比静电驱动方式量程更大，使用更为广泛. 赵静[17 ] 基于OPA548功放芯片设计了力矩线圈驱动电路. 在0~100 Hz带宽内，电路等效输出噪声标准差为5.9 μV. 可以发现，上述研究都致力于减小检测噪声和驱动噪声水平，从而提升惯性传感器精度，然而，现有工艺水平下大幅度改善噪声水平是十分困难的[18 ] . ...
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... 再平衡回路噪声主要包括检测噪声和驱动噪声. 检测噪声、驱动噪声和惯性元件中的机械热噪声是惯性传感器3个主要的噪声来源[9 ] . 研究表明，机械热噪声产生的影响远小于检测噪声和驱动噪声[10 ] ，因此可以忽略. 检测噪声是再平衡回路对惯性元件位置进行检测时引入的噪声，检测方式主要有差分电容检测[11 ] 、激光干涉检测[12 ] 以及隧道电流检测[13 ] 等. 其中，差分电容检测方式最为成熟且具有较高精度. Tian等[14 ] 使用差分电容检测方式，使检测噪声在0.1 Hz以上频段小于2×10−6 pF/Hz1/2 . 驱动噪声是再平衡回路反馈控制惯性元件位置时引入的噪声，驱动方式主要有力矩线圈驱动[15 ] 和静电驱动[16 ] . 力矩线圈驱动方式比静电驱动方式量程更大，使用更为广泛. 赵静[17 ] 基于OPA548功放芯片设计了力矩线圈驱动电路. 在0~100 Hz带宽内，电路等效输出噪声标准差为5.9 μV. 可以发现，上述研究都致力于减小检测噪声和驱动噪声水平，从而提升惯性传感器精度，然而，现有工艺水平下大幅度改善噪声水平是十分困难的[18 ] . ...
High resolution space quartz-flexure accelerometer based on capacitive sensing and electrostatic control technology
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2012
... 再平衡回路噪声主要包括检测噪声和驱动噪声. 检测噪声、驱动噪声和惯性元件中的机械热噪声是惯性传感器3个主要的噪声来源[9 ] . 研究表明，机械热噪声产生的影响远小于检测噪声和驱动噪声[10 ] ，因此可以忽略. 检测噪声是再平衡回路对惯性元件位置进行检测时引入的噪声，检测方式主要有差分电容检测[11 ] 、激光干涉检测[12 ] 以及隧道电流检测[13 ] 等. 其中，差分电容检测方式最为成熟且具有较高精度. Tian等[14 ] 使用差分电容检测方式，使检测噪声在0.1 Hz以上频段小于2×10−6 pF/Hz1/2 . 驱动噪声是再平衡回路反馈控制惯性元件位置时引入的噪声，驱动方式主要有力矩线圈驱动[15 ] 和静电驱动[16 ] . 力矩线圈驱动方式比静电驱动方式量程更大，使用更为广泛. 赵静[17 ] 基于OPA548功放芯片设计了力矩线圈驱动电路. 在0~100 Hz带宽内，电路等效输出噪声标准差为5.9 μV. 可以发现，上述研究都致力于减小检测噪声和驱动噪声水平，从而提升惯性传感器精度，然而，现有工艺水平下大幅度改善噪声水平是十分困难的[18 ] . ...
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... 再平衡回路噪声主要包括检测噪声和驱动噪声. 检测噪声、驱动噪声和惯性元件中的机械热噪声是惯性传感器3个主要的噪声来源[9 ] . 研究表明，机械热噪声产生的影响远小于检测噪声和驱动噪声[10 ] ，因此可以忽略. 检测噪声是再平衡回路对惯性元件位置进行检测时引入的噪声，检测方式主要有差分电容检测[11 ] 、激光干涉检测[12 ] 以及隧道电流检测[13 ] 等. 其中，差分电容检测方式最为成熟且具有较高精度. Tian等[14 ] 使用差分电容检测方式，使检测噪声在0.1 Hz以上频段小于2×10−6 pF/Hz1/2 . 驱动噪声是再平衡回路反馈控制惯性元件位置时引入的噪声，驱动方式主要有力矩线圈驱动[15 ] 和静电驱动[16 ] . 力矩线圈驱动方式比静电驱动方式量程更大，使用更为广泛. 赵静[17 ] 基于OPA548功放芯片设计了力矩线圈驱动电路. 在0~100 Hz带宽内，电路等效输出噪声标准差为5.9 μV. 可以发现，上述研究都致力于减小检测噪声和驱动噪声水平，从而提升惯性传感器精度，然而，现有工艺水平下大幅度改善噪声水平是十分困难的[18 ] . ...
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... 再平衡回路噪声主要包括检测噪声和驱动噪声. 检测噪声、驱动噪声和惯性元件中的机械热噪声是惯性传感器3个主要的噪声来源[9 ] . 研究表明，机械热噪声产生的影响远小于检测噪声和驱动噪声[10 ] ，因此可以忽略. 检测噪声是再平衡回路对惯性元件位置进行检测时引入的噪声，检测方式主要有差分电容检测[11 ] 、激光干涉检测[12 ] 以及隧道电流检测[13 ] 等. 其中，差分电容检测方式最为成熟且具有较高精度. Tian等[14 ] 使用差分电容检测方式，使检测噪声在0.1 Hz以上频段小于2×10−6 pF/Hz1/2 . 驱动噪声是再平衡回路反馈控制惯性元件位置时引入的噪声，驱动方式主要有力矩线圈驱动[15 ] 和静电驱动[16 ] . 力矩线圈驱动方式比静电驱动方式量程更大，使用更为广泛. 赵静[17 ] 基于OPA548功放芯片设计了力矩线圈驱动电路. 在0~100 Hz带宽内，电路等效输出噪声标准差为5.9 μV. 可以发现，上述研究都致力于减小检测噪声和驱动噪声水平，从而提升惯性传感器精度，然而，现有工艺水平下大幅度改善噪声水平是十分困难的[18 ] . ...
静电力平衡式石英挠性加速度计闭环控制系统的设计与分析
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2019
... 再平衡回路噪声主要包括检测噪声和驱动噪声. 检测噪声、驱动噪声和惯性元件中的机械热噪声是惯性传感器3个主要的噪声来源[9 ] . 研究表明，机械热噪声产生的影响远小于检测噪声和驱动噪声[10 ] ，因此可以忽略. 检测噪声是再平衡回路对惯性元件位置进行检测时引入的噪声，检测方式主要有差分电容检测[11 ] 、激光干涉检测[12 ] 以及隧道电流检测[13 ] 等. 其中，差分电容检测方式最为成熟且具有较高精度. Tian等[14 ] 使用差分电容检测方式，使检测噪声在0.1 Hz以上频段小于2×10−6 pF/Hz1/2 . 驱动噪声是再平衡回路反馈控制惯性元件位置时引入的噪声，驱动方式主要有力矩线圈驱动[15 ] 和静电驱动[16 ] . 力矩线圈驱动方式比静电驱动方式量程更大，使用更为广泛. 赵静[17 ] 基于OPA548功放芯片设计了力矩线圈驱动电路. 在0~100 Hz带宽内，电路等效输出噪声标准差为5.9 μV. 可以发现，上述研究都致力于减小检测噪声和驱动噪声水平，从而提升惯性传感器精度，然而，现有工艺水平下大幅度改善噪声水平是十分困难的[18 ] . ...
静电力平衡式石英挠性加速度计闭环控制系统的设计与分析
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2019
... 再平衡回路噪声主要包括检测噪声和驱动噪声. 检测噪声、驱动噪声和惯性元件中的机械热噪声是惯性传感器3个主要的噪声来源[9 ] . 研究表明，机械热噪声产生的影响远小于检测噪声和驱动噪声[10 ] ，因此可以忽略. 检测噪声是再平衡回路对惯性元件位置进行检测时引入的噪声，检测方式主要有差分电容检测[11 ] 、激光干涉检测[12 ] 以及隧道电流检测[13 ] 等. 其中，差分电容检测方式最为成熟且具有较高精度. Tian等[14 ] 使用差分电容检测方式，使检测噪声在0.1 Hz以上频段小于2×10−6 pF/Hz1/2 . 驱动噪声是再平衡回路反馈控制惯性元件位置时引入的噪声，驱动方式主要有力矩线圈驱动[15 ] 和静电驱动[16 ] . 力矩线圈驱动方式比静电驱动方式量程更大，使用更为广泛. 赵静[17 ] 基于OPA548功放芯片设计了力矩线圈驱动电路. 在0~100 Hz带宽内，电路等效输出噪声标准差为5.9 μV. 可以发现，上述研究都致力于减小检测噪声和驱动噪声水平，从而提升惯性传感器精度，然而，现有工艺水平下大幅度改善噪声水平是十分困难的[18 ] . ...
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... 再平衡回路噪声主要包括检测噪声和驱动噪声. 检测噪声、驱动噪声和惯性元件中的机械热噪声是惯性传感器3个主要的噪声来源[9 ] . 研究表明，机械热噪声产生的影响远小于检测噪声和驱动噪声[10 ] ，因此可以忽略. 检测噪声是再平衡回路对惯性元件位置进行检测时引入的噪声，检测方式主要有差分电容检测[11 ] 、激光干涉检测[12 ] 以及隧道电流检测[13 ] 等. 其中，差分电容检测方式最为成熟且具有较高精度. Tian等[14 ] 使用差分电容检测方式，使检测噪声在0.1 Hz以上频段小于2×10−6 pF/Hz1/2 . 驱动噪声是再平衡回路反馈控制惯性元件位置时引入的噪声，驱动方式主要有力矩线圈驱动[15 ] 和静电驱动[16 ] . 力矩线圈驱动方式比静电驱动方式量程更大，使用更为广泛. 赵静[17 ] 基于OPA548功放芯片设计了力矩线圈驱动电路. 在0~100 Hz带宽内，电路等效输出噪声标准差为5.9 μV. 可以发现，上述研究都致力于减小检测噪声和驱动噪声水平，从而提升惯性传感器精度，然而，现有工艺水平下大幅度改善噪声水平是十分困难的[18 ] . ...
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... 再平衡回路噪声主要包括检测噪声和驱动噪声. 检测噪声、驱动噪声和惯性元件中的机械热噪声是惯性传感器3个主要的噪声来源[9 ] . 研究表明，机械热噪声产生的影响远小于检测噪声和驱动噪声[10 ] ，因此可以忽略. 检测噪声是再平衡回路对惯性元件位置进行检测时引入的噪声，检测方式主要有差分电容检测[11 ] 、激光干涉检测[12 ] 以及隧道电流检测[13 ] 等. 其中，差分电容检测方式最为成熟且具有较高精度. Tian等[14 ] 使用差分电容检测方式，使检测噪声在0.1 Hz以上频段小于2×10−6 pF/Hz1/2 . 驱动噪声是再平衡回路反馈控制惯性元件位置时引入的噪声，驱动方式主要有力矩线圈驱动[15 ] 和静电驱动[16 ] . 力矩线圈驱动方式比静电驱动方式量程更大，使用更为广泛. 赵静[17 ] 基于OPA548功放芯片设计了力矩线圈驱动电路. 在0~100 Hz带宽内，电路等效输出噪声标准差为5.9 μV. 可以发现，上述研究都致力于减小检测噪声和驱动噪声水平，从而提升惯性传感器精度，然而，现有工艺水平下大幅度改善噪声水平是十分困难的[18 ] . ...
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... 再平衡回路噪声主要包括检测噪声和驱动噪声. 检测噪声、驱动噪声和惯性元件中的机械热噪声是惯性传感器3个主要的噪声来源[9 ] . 研究表明，机械热噪声产生的影响远小于检测噪声和驱动噪声[10 ] ，因此可以忽略. 检测噪声是再平衡回路对惯性元件位置进行检测时引入的噪声，检测方式主要有差分电容检测[11 ] 、激光干涉检测[12 ] 以及隧道电流检测[13 ] 等. 其中，差分电容检测方式最为成熟且具有较高精度. Tian等[14 ] 使用差分电容检测方式，使检测噪声在0.1 Hz以上频段小于2×10−6 pF/Hz1/2 . 驱动噪声是再平衡回路反馈控制惯性元件位置时引入的噪声，驱动方式主要有力矩线圈驱动[15 ] 和静电驱动[16 ] . 力矩线圈驱动方式比静电驱动方式量程更大，使用更为广泛. 赵静[17 ] 基于OPA548功放芯片设计了力矩线圈驱动电路. 在0~100 Hz带宽内，电路等效输出噪声标准差为5.9 μV. 可以发现，上述研究都致力于减小检测噪声和驱动噪声水平，从而提升惯性传感器精度，然而，现有工艺水平下大幅度改善噪声水平是十分困难的[18 ] . ...
石英挠性加速度计数字闭环检测电路噪声研究
1
2016
... 分析噪声影响精度的机理有助于优化噪声传递路径，提升惯性传感器的精度. 张声艳等[19 ] 建立了数字加速度传感器闭环系统误差数值仿真模型，确定检测噪声是影响系统精度的主要因素，并将数字加速度传感器的精度由65.49 μg提升到了12.24 μg. Zhang等[20 ] 分析了数字加速度传感器噪声引入点到信号输出点之间的传递函数，由噪声标准差计算得到理论精度值. 综上可知，已有许多学者从噪声传递的角度考虑再平衡回路噪声对惯性传感器精度的影响. 然而，目前的研究主要关注噪声对精度统计量的影响，还未涉及噪声经过闭环回路后的频谱变化，对再平衡回路噪声的整形机理还未有系统阐述. ...
石英挠性加速度计数字闭环检测电路噪声研究
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2016
... 分析噪声影响精度的机理有助于优化噪声传递路径，提升惯性传感器的精度. 张声艳等[19 ] 建立了数字加速度传感器闭环系统误差数值仿真模型，确定检测噪声是影响系统精度的主要因素，并将数字加速度传感器的精度由65.49 μg提升到了12.24 μg. Zhang等[20 ] 分析了数字加速度传感器噪声引入点到信号输出点之间的传递函数，由噪声标准差计算得到理论精度值. 综上可知，已有许多学者从噪声传递的角度考虑再平衡回路噪声对惯性传感器精度的影响. 然而，目前的研究主要关注噪声对精度统计量的影响，还未涉及噪声经过闭环回路后的频谱变化，对再平衡回路噪声的整形机理还未有系统阐述. ...
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... 分析噪声影响精度的机理有助于优化噪声传递路径，提升惯性传感器的精度. 张声艳等[19 ] 建立了数字加速度传感器闭环系统误差数值仿真模型，确定检测噪声是影响系统精度的主要因素，并将数字加速度传感器的精度由65.49 μg提升到了12.24 μg. Zhang等[20 ] 分析了数字加速度传感器噪声引入点到信号输出点之间的传递函数，由噪声标准差计算得到理论精度值. 综上可知，已有许多学者从噪声传递的角度考虑再平衡回路噪声对惯性传感器精度的影响. 然而，目前的研究主要关注噪声对精度统计量的影响，还未涉及噪声经过闭环回路后的频谱变化，对再平衡回路噪声的整形机理还未有系统阐述. ...
石英挠性加速度计伺服电路
1
1985
... 式中： $s$ $\theta $ $a$ ${a_{\rm{i}}}$ ${a_{\rm{t}}}$ $P$ $J$ $\delta$ $K$ [21 -22 ] . ...
石英挠性加速度计伺服电路
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1985
... 式中： $s$ $\theta $ $a$ ${a_{\rm{i}}}$ ${a_{\rm{t}}}$ $P$ $J$ $\delta$ $K$ [21 -22 ] . ...
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... 式中： $s$ $\theta $ $a$ ${a_{\rm{i}}}$ ${a_{\rm{t}}}$ $P$ $J$ $\delta$ $K$ [21 -22 ] . ...
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... 式中： $s$ $\theta $ $a$ ${a_{\rm{i}}}$ ${a_{\rm{t}}}$ $P$ $J$ $\delta$ $K$ [21 -22 ] . ...
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... 式中： ${\varepsilon _0}$ ${\varepsilon _{\rm{r}}}$ $S$ $d$ $\Delta d$ ${C_0}$ [23 ] . ...
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... 式中： ${\varepsilon _0}$ ${\varepsilon _{\rm{r}}}$ $S$ $d$ $\Delta d$ ${C_0}$ [23 ] . ...
A sensitive differential capacitance to voltage converter for sensor applications
1
1999
... 检测电路为单载波调制型差分电容检测电路，该电路将差分电容值转化为电压值. 检测电路的传递函数是比例放大系数 $K_{\rm{C}}^{\rm{V}}$ [24 ] . 所有检测电路中的噪声可等效为输出电压噪声 ${n_{\rm{v}}}$
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... 式中： ${K_{\rm{P}}}$ ${K_{\rm{I}}}$ ${K_{\rm{D}}}$ [25 ] ，以上系数值需要根据摆片参数和目标闭环传递函数进行调整. ...
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... 式中： ${K_{\rm{P}}}$ ${K_{\rm{I}}}$ ${K_{\rm{D}}}$ [25 ] ，以上系数值需要根据摆片参数和目标闭环传递函数进行调整. ...
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... 驱动电路为电压-电流转换电路. 该电路将反馈控制电路输出电压转换为力矩器驱动电流. 驱动电路是比例放大环节，其传递函数为系数 $K_{\rm{V}}^{\rm{I}}$ [26 ] . 所有驱动电路中的噪声可等效为输出电流噪声 ${n_{\rm{i}}}$
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... 驱动结构为力矩器. 力矩器线圈置于均匀气隙磁场中，反馈力矩与驱动电流成正比. 因此，驱动结构是比例放大环节，其传递系数为 $K_{\rm{I}}^{{\rm{at}}}$ [27 ] . ...
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... 驱动结构为力矩器. 力矩器线圈置于均匀气隙磁场中，反馈力矩与驱动电流成正比. 因此，驱动结构是比例放大环节，其传递系数为 $K_{\rm{I}}^{{\rm{at}}}$ [27 ] . ...
数字闭环加速度计系统模型分析与校正设计
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2012
... 根据图1 中的系统框图，对惯性元件再平衡回路系统进行仿真. 实际情况中，受加工工艺影响，不同产品的参数略有差异，因此，选取典型值作为仿真参数. 以石英挠性加速度计为例，惯性结构的典型参数如下： $P=6.1 \times {10^{ - 6}}\;{\rm{kg}} \cdot {\rm{m}}$ $J=1.9 \times $ $ {10^{ - 8}}\;{\rm{N}} \cdot {\rm{m}} \cdot {{\rm{s}}^2}{\rm{/rad}}$ $\delta =2.0 \times {10^{ - 4}}\;{\rm{N}} \cdot {\rm{m}} \cdot {\rm{s/rad}}$ $K=3.0 \times $ $ {10^{ - 4}}\;{\rm{N}} \cdot {\rm{m/rad}}$ [28 ] . 石英挠性加速度计的初始电容一般为30 pF，直径约为18 mm. 差分电容检测极板的间距约为0.10 mm，最小可以达到0.02 mm[29 ] . 差分电容检测结构的典型参数如下： ${C_0}=30\;{\rm{pF}}$ $L=9\;{\rm{mm}}$ $d=0.1\;{\rm{mm}}$ . 由式（3）可知，检测结构的增益为5 400 pF/rad. ...
数字闭环加速度计系统模型分析与校正设计
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2012
... 根据图1 中的系统框图，对惯性元件再平衡回路系统进行仿真. 实际情况中，受加工工艺影响，不同产品的参数略有差异，因此，选取典型值作为仿真参数. 以石英挠性加速度计为例，惯性结构的典型参数如下： $P=6.1 \times {10^{ - 6}}\;{\rm{kg}} \cdot {\rm{m}}$ $J=1.9 \times $ $ {10^{ - 8}}\;{\rm{N}} \cdot {\rm{m}} \cdot {{\rm{s}}^2}{\rm{/rad}}$ $\delta =2.0 \times {10^{ - 4}}\;{\rm{N}} \cdot {\rm{m}} \cdot {\rm{s/rad}}$ $K=3.0 \times $ $ {10^{ - 4}}\;{\rm{N}} \cdot {\rm{m/rad}}$ [28 ] . 石英挠性加速度计的初始电容一般为30 pF，直径约为18 mm. 差分电容检测极板的间距约为0.10 mm，最小可以达到0.02 mm[29 ] . 差分电容检测结构的典型参数如下： ${C_0}=30\;{\rm{pF}}$ $L=9\;{\rm{mm}}$ $d=0.1\;{\rm{mm}}$ . 由式（3）可知，检测结构的增益为5 400 pF/rad. ...
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... 根据图1 中的系统框图，对惯性元件再平衡回路系统进行仿真. 实际情况中，受加工工艺影响，不同产品的参数略有差异，因此，选取典型值作为仿真参数. 以石英挠性加速度计为例，惯性结构的典型参数如下： $P=6.1 \times {10^{ - 6}}\;{\rm{kg}} \cdot {\rm{m}}$ $J=1.9 \times $ $ {10^{ - 8}}\;{\rm{N}} \cdot {\rm{m}} \cdot {{\rm{s}}^2}{\rm{/rad}}$ $\delta =2.0 \times {10^{ - 4}}\;{\rm{N}} \cdot {\rm{m}} \cdot {\rm{s/rad}}$ $K=3.0 \times $ $ {10^{ - 4}}\;{\rm{N}} \cdot {\rm{m/rad}}$ [28 ] . 石英挠性加速度计的初始电容一般为30 pF，直径约为18 mm. 差分电容检测极板的间距约为0.10 mm，最小可以达到0.02 mm[29 ] . 差分电容检测结构的典型参数如下： ${C_0}=30\;{\rm{pF}}$ $L=9\;{\rm{mm}}$ $d=0.1\;{\rm{mm}}$ . 由式（3）可知，检测结构的增益为5 400 pF/rad. ...
Model QA3000 Q-Flex accelerometer high performance test results
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1992
... 石英挠性加速度计的检测电路为差分电容检测电路. 假设载波激励信号的幅值为5 V，仪表放大器增益为10，负反馈电容为30 pF，那么检测电路的典型增益为1.6 V/pF. 反馈控制电路的参数通过整定得到. 根据其他仿真参数，采用比例反馈可以满足闭环带宽要求，设增益为2.5. 驱动电路为电压-电流转换电路. 将驱动电路的增益设为12.5 mA/V. 驱动结构为力矩器结构，典型增益为1 g/mA[30 ] . ...
Fig 1
表 1
