引用本文:

张秀淼，杨爱龄，石国华,江春叶， 王丹， 包蕾. 衬底温度对PECVD氮化硅膜性质的影响[J]. 浙江大学学报（理学版）, 1988, 15(4): 410-415.

链接本文:

https://www.zjujournals.com/sci/CN/Y1988/V15/I4/410