罗茨泵极限真空度及其预抽时间预测模型研究

李玉龙,宋陆昊,刘天涯,宋安然

Research on prediction models for limiting vacuum degree and its pre-pumping time of Roots pump

Yulong LI,Luhao SONG,Tianya LIU,Anran SONG

表2 仿真参数值

Table 2 Simulation parameter values

参数 数值 参数 数值 参数 数值 z 2 δ1/mm 0.3 p0/Pa 101 325 ε 1.6 δ2/mm 0.4 ρ0/（kg·m-3） 1.205 r/mm 100 δ3/mm 0.3 μ/（Pa·s） 0.000 018 53 b/mm 400 C1 0.55 ω/（rad·s-1） 104.72 Vs/m3 1 000 C2 0.55 V0/m3 0.018 8