罗茨泵极限真空度及其预抽时间预测模型研究

李玉龙,宋陆昊,刘天涯,宋安然

Research on prediction models for limiting vacuum degree and its pre-pumping time of Roots pump

Yulong LI,Luhao SONG,Tianya LIU,Anran SONG

表1 参数表

Table 1 Parameter table

参数 含义 参数 含义 b 转子宽度 a 半叶轮廓顶点 r 节圆半径 g 半叶轮廓谷点 z 转子叶数 s 啮合轮廓外端点 γ 叶形角， γ=π/(2z) m 啮合轮廓节点 o 转子中心 e 啮合轮廓内端点 ε 转子形状系数 n 啮合点 ω 转子旋转角速度 θ 相位角， -γ≤θ≤γ Q 理论体积流量 α 啮合传动角 Qmax Q的最大值 σ 啮合长度 Qmin Q的最小值 i 相对速度瞬心 Qave Q的平均值 λ 容积利用系数 V 进口封闭容积 ξ 流量脉动系数 t 旋转时间 ρ0 基准空气密度 o1 主动转子中心 V0 预抽基准容积 o2 从动转子中心 V0nax V0的等效容积 rn1 n到o1的距离 Vs 实景抽气容积 rn2 n到o2的距离 T 实景预抽时间 p0 基准空气压力 T0 V0nax预抽时间 p 进口真空压力 μ 空气动力黏度 pmin 极限真空度 C1 径漏流量系数 L 等效矩形长度 C2 啮漏流量系数 δ1 径漏间距 A1 径漏孔口面积 δ2 啮漏间距 A2 啮漏孔口面积 δ3 端漏间距 Q1 径漏返流流量 Q2 啮漏返流流量 Q3 端漏返流流量