旋转纳米运动柔性解耦机构的设计与分析

慕锐,赖磊捷

Design and analysis of flexible decoupling mechanism for rotational nano-motion

Rui MU,Leijie LAI

表3 柔性解耦机构解耦能力比较

Table 3 Comparison of decoupling capabilities of flexible decoupling mechanisms

机构 解耦能力参数η 有限元仿真值 理论计算值 H9 0.007 4 0.007 5 H6 0.006 7 0.006 7 H3 0.004 5 0.004 3 H0 0.001 3 0.001 2