旋转纳米运动柔性解耦机构的设计与分析
慕锐,赖磊捷
Design and analysis of flexible decoupling mechanism for rotational nano-motion
Rui MU,Leijie LAI
表1
柔性解耦机构尺寸参数 (mm)
Table 1
Dimensional parameters of flexible decoupling mechanism
参数
数值
参数
数值
l
18
h
2
17
t
1
r
1
9
f
1
、 p
1
9
r
2
9.5
h
1
17
r
3
10.8