基于压电喷墨打印技术的多层电路垂直互连工艺研究
林枝城,加泽贤,苟宁,孙岩辉,吕景祥,尹恩怀,李超

Research on vertical interconnect process of multilayer circuits based on piezoelectric inkjet printing technology
Zhicheng LIN,Zexian JIA,Ning GOU,Yanhui SUN,Jingxiang LÜ,Enhuai YIN,Chao LI
表1 打印参数
Table 1 Printing parameters
打印模式打印参数数值

压电喷墨

(导电层)

喷嘴直径/μm60
波谷/波峰电压/V-37/40
喷墨频率/Hz140
打印速度/(mm/s)7
打印高度/mm2

微笔直写

(介电层)

喷嘴直径/mm0.36
打印速度/(mm/s)10
打印高度/mm0.20
气压/MPa0.32