二维压电精密运动平台行程与频率的协同优化设计

张萌,朱禹清,杨培基,吴垚

Co-optimization design of stroke and frequency for two-dimensional piezoelectric precision motion stage

Meng ZHANG,Yuqing ZHU,Peiji YANG,Yao WU

表2 不同材料的性能及其应用场景

Table 2 Properties of different materials and their application scenarios

材料 弹性模量/GPa 泊松比 适用场景 钛合金 110 0.32~0.34 高精度柔性机构、航空航天 铝合金 69 0.33~0.34 轻量化柔性机构/机器人 不锈钢 200 0.27~0.30 医疗器械、微机电系统制造 硅橡胶 0.001~0.010 0.47~0.50 仿生机构、人工肌肉 聚氨酯 0.002~0.100 0.45~0.50 可拉伸电子器件