基于压电陶瓷驱动的二维精密定位平台设计及分析 |
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| 杜健,祝锡晶,李婧 | ||||||||||||||||
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Design and analysis of two-dimensional precision positioning platform based on piezoelectric ceramic drive |
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| Jian DU,Xijing ZHU,Jing LI | ||||||||||||||||
| 表2 精密定位平台的性能参数对比 | ||||||||||||||||
| Table 2 Comparison of performance parameters of precision positioning platform | ||||||||||||||||
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