基于压电陶瓷驱动的二维精密定位平台设计及分析

杜健,祝锡晶,李婧

Design and analysis of two-dimensional precision positioning platform based on piezoelectric ceramic drive

Jian DU,Xijing ZHU,Jing LI

表1 精密定位平台尺寸参数 (mm)

Table 1 Dimensional parameters of precision positioning platform

参数 数值 参数 数值 l1 4.00 la2 53.80 l2 24.00 h 6.50 l3 25.00 t 0.50 l4 55.00 ta 0.60 l5 21.80 t0 10.00 l6 63.00 w 2.00 la1 26.52 b 20.00