基于压电陶瓷驱动的二维精密定位平台设计及分析

杜健,祝锡晶,李婧

Design and analysis of two-dimensional precision positioning platform based on piezoelectric ceramic drive

Jian DU,Xijing ZHU,Jing LI

图3 二维精密定位平台整体结构1—工作平台；2—预紧螺纹孔；3—双桥臂桥式放大机构；4—定位孔；5—双级平行四边形机构；6—复合平行四边形机构。

Fig.3 Overall structure of two-dimensional precision positioning platform