音圈电机驱动的三自由度大行程柔性偏摆台设计与分析 |
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| 徐智皓,陆晓伟,谢雨欣,赖磊捷 | ||||||||||||||||||
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Design and analysis of three-degree-of-freedom large-stroke flexible tip-tilt stage driven by voice coil motor |
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| Zhihao XU,Xiaowei LU,Yuxin XIE,Leijie LAI | ||||||||||||||||||
| 表1 柔性球铰结构参数的取值 (mm) | ||||||||||||||||||
| Table 1 Values of structural parameters of flexible spherical hinge | ||||||||||||||||||
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