光电-静电复合驱动器的驱动性能
吕振,王新杰,刘亚风,赵勇筌
Driving performance of photovoltaic-electrostatic hybrid actuator
Zhen LV,Xin-jie WANG,Ya-feng LIU,Yong-quan ZHAO
表 1
光电-静电复合驱动器结构参数
Tab.1
Structure parameters of photovoltaic electrostatic hybrid actuator
参数
数值
扭臂宽度
w
1
/μm
10
扭臂厚度
b
/μm
10
上电极长度
l
/μm
1600
上电极宽度
w
/μm
900
上下电极最大间距
h
/μm
50
扭臂长度
l
1
/μm
800
下电极倾斜角
θ
0
/(°)
1.7