基于克里金模型的微电热驱动器优化设计
陈浩,王新杰,王炅,席占稳,曹云

Optimization and design of micro-electro-thermal actuator based on Kriging model
Hao CHEN,Xin-jie WANG,Jiong WANG,Zhan-wen XI,Yun CAO
表 4 U型电热驱动器不同优化尺寸下的位移
Tab.4 Displacement of U-shaped electrothermal actuator with different optimized design dimensions
µm
阶段 Lf Wh g Wc D
克里金 有限元
初始0 500 50 50 340 87.3
优化1 279 42 58 263 107.4 107.0
优化2 292 44 46 257 109.9 109.0
优化3 243 43 68 395 120.3 118.0