基于克里金模型的微电热驱动器优化设计
陈浩,王新杰,王炅,席占稳,曹云
Optimization and design of micro-electro-thermal actuator based on Kriging model
Hao CHEN,Xin-jie WANG,Jiong WANG,Zhan-wen XI,Yun CAO
表 2
单晶硅和空气的材料参数
Tab.2
Material parameters of silicon and air
材料
E
/GPa
µ
ρ
/(Ω·mm)
α
/K
−1
硅
169
0.28
0.22
2.6×10
−6
空气
−
−
3×10
16
−