芯片键合纵弯复合超声换能器的设计与试验

胡广豪,薛进学,马文举,隆志力

Design and experiment of longitudinal-flexural composite ultrasonic transducer for chip bonding

Guang-hao HU,Jin-xue XUE,Wen-ju MA,Zhi-li LONG

表 2 换能器各部件材料特性参数

Tab.2 Material parameters of transducer components

组成部分 材料 ρ/（kg·m−3） E/（1011N·m−2） μ 后盖板变幅杆安装环 316不锈钢 7 800 2.06 0.29 劈刀 钨钢 4 000 3.13 0.27 预紧螺钉 45钢 7 850 2.05 0.30