基于迁移学习与深度森林的晶圆图缺陷识别

基于迁移学习与深度森林的晶圆图缺陷识别

沈宗礼,余建波

Wafer map defect recognition based on transfer learning and deep forest

Zong-li SHEN,Jian-bo YU

表 2 GCForest识别器参数灵敏度分析

Tab.2 Parameter sensitivity analysis of GCForest

参数名称	参数大小	R_acc/%
滑动窗口大小	400	97.31
	700	96.7
	1 000	96.2
	1 300	96.4
	1 664	96.2
决策树生成的最小样本数	0	96.2
	0.1	96.7
	0.2	96.2
	0.3	95.8
	0.4	95.4
决策树生成的允许误差	0	96.2
	0.1	96.7
	0.2	96.2
	0.3	95.8
	0.4	95.4
扫描层随机森林的决策树数量	200	96.9
	400	95.8
	600	97.0
	800	96.7
	1 000	96.0