高速电磁阀开启特性的光学测量
田昊,赵禹任
Optical measurement of high-speed solenoid valve switching-on characteristics
Hao TIAN,Yu-ren ZHAO
表 1
激光位移传感器的主要参数
Tab.1
Major parameters of laser displacement sensor
S
/mm
L
/%
r
/μm
w
/nm
d
/mm
f
/kHz
100±35
±0.1
70
655
120
0.66