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浙江大学学报（理学版）
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物理学     
不同入射角Ar +离子轰击Ag 靶表面的形貌变化特征
朱京平　张慧明 (杭州大学中心实验室　杭州310028) 王震遐 (中国科学院上海原子核研究所　上海201800)
Topography Change on Silver Surface by Ar+Bombardment at Different Incidence Angles
Zhu Jingping 　Zhang Huiming (Center Laboratory of Hang zhou University , Hangzhou 310028) Wang Zhenxia (I nstitute of Nuclear Research of Academia Sinica , Shang hai 201800)
 全文: PDF 
摘要： 本文报道了一种用Ar+以不同入射角轰击Ag 表面时形成锥体形貌的方法.不同溅射表面所形成锥体丛的平均高度分别为:(a)入射角φ为20°时约1μm ;(b)φ=40°时约1.5μm ;(c)φ=60°时约7μm ;(d)φ=70°时约为8μm , 并随入射角φ的增大而增加.我们认为这些变化特征是在离子轰击表面的溅射过程中形成的.
关键词： 表面形貌;  离子溅射;  入射角    
Abstract: A me thod of cone -shaped topog raphy formation on the surface of silver by Ar + ion bombardment at different ang le(φ)of incidence is proposed.Each sputtered surface forms colo ny of cones whose average altitudes are roug htly (a) ～ 1μm for φ=20°;(b)～ 1 .5μm for φ=40°,(c)～ 7μm fo r φ=60°, and (d)～ 8μm for φ=70°and rise as the incident angle increase.I t is explained that these variations take place during ion sputtering o f the bombarded surface.
Key words: surface tapog raphy    ion sputtering    incidence angle
出版日期: 2017-12-01
CLC:  O472  
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朱京平
张慧明
王震遐

引用本文:

朱京平，张慧明，王震遐. 不同入射角Ar +离子轰击Ag 靶表面的形貌变化特征[J]. 浙江大学学报（理学版）, .

Zhu Jingping,Zhang Huiming,Wang Zhenxia. Topography Change on Silver Surface by Ar+Bombardment at Different Incidence Angles. Journal of Zhejiang University (Science Edition), .

链接本文:

https://www.zjujournals.com/sci/CN/    或    https://www.zjujournals.com/sci/CN/Y1998/V25/I2/58

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