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浙江大学学报(理学版)
电子科学     
用表面光压(SPV)法确定异型外延材料中的少子扩散长度
SPV Method Extended to the EpitaxialMaterial of Different Conductive Type
 全文: PDF(251 KB)  
摘要: 本文分析了用sPv法确定异型外延材料少子扩散长度的可行性,并对典型工艺参数,给出了有效少子扩散长度L。与外延层厚度d、外延层及栩}少子扩散长度L,, L:的关系曲线.提供了一种确定外延层材料少子扩散长度的新方法。
出版日期: 2018-02-28
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引用本文:

夏银水;宋加涛;张秀淼. 用表面光压(SPV)法确定异型外延材料中的少子扩散长度[J]. 浙江大学学报(理学版), .

Xia Yinshui Song diatao Zhang Xiumiao. SPV Method Extended to the EpitaxialMaterial of Different Conductive Type. Journal of Zhejiang University (Science Edition), .

链接本文:

https://www.zjujournals.com/sci/CN/        https://www.zjujournals.com/sci/CN/Y1991/V18/I2/185

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