采用恒频参量激励的微机械陀螺驱动控制方案

林一羽,郑旭东,吴海斌,马志鹏,金仲和

MEMS gyroscopes parametric excitation control scheme with constant resonant frequency

Yi-yu LIN,Xu-dong ZHENG,Hai-bin WU,Zhi-peng MA,Zhong-he JIN

表 1 CRF-PE控制方案的仿真参数

Tab.1 Simulation parameters of CRF-PE control scheme

参数 数值 单位 参数 数值 单位 f0 1 835.91 Hz Q0 8 000 — mx 1.56×10−5 kg KVF 7.828×10−6 N/V kx 2 075.800 N/m KXV 1×105 V/m cx 2.25×10−5 — KT 0.038 N/（m∙V2）